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Prof. Dr. Harald Kuhn übernimmt Leitung des Zentrums für Mikrotechnologien der TU Chemnitz

Mit sofortiger Wirkung übernimmt Prof. Dr. Harald Kuhn, Inhaber der Professur für Smart Systems Integration der Fakult?t für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz und Leiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS, auch die Leitung des Zentrums für Mikrotechnologien der TU

Prof. Dr. Harald Kuhn ist neuer Leiter des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Chemnitz. Bereits am 1. September 2020 hatte Kuhn die Leitung des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz und die von „Mikrotechnologie“ zu „Smart Systems Integration“ umgewidmete Professur an der TU Chemnitz übernommen.

Kuhns Vorgänger, Prof. Dr. Thomas Otto, bleibt als Honorarprofessor für Optoelektronische Systeme an der TU Chemnitz und stellvertretender Leiter des Fraunhofer ENAS weiterhin Teil des ZfM. Das Direktorium dankte ihm für seine Tätigkeit, insbesondere für die Weiterentwicklung der Reinraumstrategie und das Vorantreiben der grundlagenorientierten Forschungsprojekte, die auch weiterhin in Ottos Zuständigkeitsbereich liegen.

Exzellenz stärken

Um den Standort Deutschland zu stärken, brauche die Industrie wissenschaftlichen Nachwuchs, der nahe an zukünftigen Aufgabenstellungen ausgebildet werde, macht Kuhn deutlich. „Die exzellente Ausbildung der Studierenden sowie die Stärkung der wissenschaftlichen Exzellenz des Zentrums für Mikrotechnologien und damit der Technischen Universität Chemnitz sind unsere vordringlichsten Aufgaben“, erklärt Prof. Dr. Harald Kuhn. „Das wird automatisch begleitet durch eine hohe regionale, nationale und internationale Sichtbarkeit des ZfM und der TU Chemnitz. Unser Schlüssel zum Erfolg ist die interdisziplinäre Zusammenarbeit im Kleinen, das heißt im ZfM, wie auch im Großen, das heißt fakultätsübergreifend an der TU Chemnitz, am lokalen Campus, in Sachsen und deutschlandweit.“

Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz ist exzellente Basis für Forschung und Lehre

Ein wichtiger Faktor für die Entwicklung und Ausschöpfung des Innovationspotenzials der Zukunftstechnologien ist eine gut strukturierte und lebendige Forschungslandschaft. Die Bedingungen dafür sind an der TU Chemnitz ideal: „Wir verfügen mit dem Zentrum für Mikrotechnologien, seinen Reinräumen und technologischen Ausrüstungen an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz über eine hervorragende wissenschaftliche Betriebseinheit für Forschung und Lehre“, sagt Prof. Dr. Stefan Streif, Dekan der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Diese Betriebseinheit sei eine hervorragende Basis zur Herstellung von Demonstratoren und Prototypen, für die Entwicklung von Verfahren und Materialien sowie für die forschungs- und praxisnahe Ausbildung der Studierenden, Praktikantinnen und Praktikanten sowie jungen Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern.

Neue Impulse für die Hochfrequenzelektronik und Hardwaresicherheit setzen

„Am Zentrum für Mikrotechnologien arbeiten meine hochmotivierten, exzellent ausgebildeten Mitarbeitenden an relevanten innovativen Themen, wie MEMS Sensorik und Aktorik sowie deren Integration, an neuen Nanokomponenten, neuen innovativen Prozesstechnologien bis hin zur Simulation, zur Hardwarekryptografie und zur künstlichen Intelligenz“, erklärt Prof. Kuhn. So arbeite unter anderem ein Team an industrietauglichen Fertigungsprozessen im Bereich der Nanomaterialien. So sollen neue Funktionalitäten und Integrationstechnologien in der Elektronik und Sensorik entstehen.

„Diese und weitere Forschungsthemen werden wir in den folgenden Jahren weiterhin bearbeiten“, sagt Kuhn und fügt hinzu: „Exzellent, interdisziplinär und zukunftsorientiert treiben wir im Verbund im ZfM, in der Fakultät und an der TU Chemnitz Grundlagenforschung von der Idee über den Entwurf bis zur Technologieentwicklung, der Entwicklung von Prototypen und intelligenter Datenauswertung voran. Damit stehen wir als zuverlässiger, innovativer Forschungs- und Entwicklungspartner zur Verfügung.“

Hintergrund: Wahl zum geschäftsführenden Direktor des ZfM

Der geschäftsführende Direktor des ZfMs wird vom Vorstand des ZfM vorgeschlagen und vom Fakultätsrat der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik gewählt. Zum Vorstand gehören die Inhaberin bzw. die Inhaber der folgenden Professuren:

  • Smart Systems Integration (Prof. Dr.  Harald Kuhn)
  • Mikrosystem- und Medizintechnik (Prof. Dr. Jan Mehner)
  • Schaltkreis- und Systementwurf (Prof. Dr. Ulrich Heinkel)
  • Leistungselektronik (Prof. Dr. Thomas Basler)
  • Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik (Prof. Dr. John-Thomas Horstmann)
  • Mess- und Sensortechnik (Prof. Dr. Olfa Kanoun)
  • Werkstoffe und Zuverlässigkeit Mikrotechnischer Systeme (Prof. Dr. Bernhard Wunderle)

Zur Person: Prof. Dr. Harald Kuhn

Harald Kuhn ist seit dem 1. September 2020 Professor für Smart Systems Integration an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz und Leiter des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS. Zuvor war er als Direktor bei der Infineon Technologies AG in Regensburg beschäftigt. Dort leitete er die Abteilung „Automation & Equipment Technology“.

Er studierte Werkstoffwissenschaften an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg und begann 1996 als Entwicklungsingenieur für SiC-Kristallzüchtung in der Abteilung Forschung & Entwicklung der Siemens AG. Parallel dazu promovierte er an der Universität Erlangen-Nürnberg.

Prof. Dr. Harald Kuhn verfügt über mehr als 20 Jahre Erfahrung in der Halbleiterindustrie und hatte verschiedene Managementpositionen bei Infineon und Siemens inne. In seiner letzten Position war er verantwortlich sowohl für die Entwicklung von differenzierenden Sonderanlagen als auch die Automatisierung/Industrie 4.0 der Backend-Standorte mit weltweiten Teams. Seine hohe methodische Kompetenz zur Erarbeitung von innovativen, modularisierten und skalierbaren Konzepten war die Basis für eine erfolgreiche weltweite produktive Implementierung. In seiner Funktion war Kuhn führend in der Innovation (z. B. Künstliche Intelligenz, Industrial Internet of Things) und deren produktiver Umsetzung. Seine internationale Erfahrung, vor allem im asiatischen Raum, rundet sein Profil ab.

Hintergrund: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)

Das Zentrum für Mikrotechnologien kann auf eine lange Tradition zurückblicken. Es wurde 1991 gegründet. Sein Vorgänger, das Technikum Mikroelektronik, wurde bereits 1979 als gemeinsame Forschungseinrichtung von Hochschule und Industrie in Betrieb genommen. Gegenwärtig verfügt das ZfM über zwei Reinräume mit einer Fläche von insgesamt 1.000 m2. Der Reinraum 2 mit 300 m2 der Reinraumklasse 10 (ISO 4) ist im neuen Gebäude des Instituts für Physik untergebracht.

Modernes Equipment gestattet insbesondere die Prozessierung von Sechs-Zoll und Acht-Zoll-Wafern. Das ermöglicht sowohl die Entwicklung und Untersuchung einzelner Herstellungsschritte als auch die Entwicklung von Gesamttechnologien.

Forschungsschwerpunkte sind:

  • Entwicklung von Technologien und Komponenten für Mikro- und Nanosysteme wie zum Beispiel Sensoren, Aktoren, Arrays,
  • Entwicklung von Technologien für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik,
  • Design von Komponenten und Systemen,
  • Nanotechnologien, -komponenten und ultradünne funktionale Schichten.

Als besonders erfolgreich hat sich die ganzheitliche Bearbeitung der Einzelaspekte Entwurf, Materialentwicklung, Technologie, Charakterisierung und Applikation von Komponenten und Systemen herausgestellt. Auf diesen Gebieten gibt es auf regionaler, nationaler und internationaler Ebene eine intensive Zusammenarbeit mit zahlreichen Forschungseinrichtungen und Firmen.

Homepage des Zentrums für Mikrotechnologien: https://www.zfm.tu-chemnitz.de

Weitere Informationen erteilt: Dr. Martina Vogel, martina.vogel@zfm.tu-chemnitz.de

Matthias Fejes
17.02.2021

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